The influence of microelectronic processing steps on the properties of porous Si-layers

Münder, H.; Berger, M. G.; Frohnhoff, S.; Thönissen, M.; Lüth, H.; Theiss, W.; Küpper, L.

Boston, Mass (1993)
Buchbeitrag

In: Optical properties of low dimensional silicon structures. Hrsg. D.C. Bensahel [u.a.]
Seite(n)/Artikel-Nr.: 75

Einrichtungen

• Lehr- und Forschungsgebiet Experimentalphysik [131720]
• Lehr- und Forschungsgebiet Physik [131820]
• Lehrstuhl für Experimentalphysik I A und I. Physikalisches Institut [131110]
• Fachgruppe Physik [130000]