Increasing the carbon deposition rate using sputter yield amplification upon serial magnetron co-sputtering
Schmidt, Rüdiger Matti (Corresponding author); Ries, Patrick; Pflug, Andreas; Wuttig, Matthias; Kubart, Tomas
Amsterdam : Elsevier, [u.a.] (2014)
Fachzeitschriftenartikel
In: Surface & coatings technology
Band: 252
Seite(n)/Artikel-Nr.: 74-78
Einrichtungen
- Fachgruppe Physik [130000]
- JARA-FIT [080009]
- Lehrstuhl für Experimentalphysik I A und I. Physikalisches Institut [131110]
Identifikationsnummern
- DOI: 10.1016/j.surfcoat.2014.04.067
- RWTH PUBLICATIONS: RWTH-CONV-088511