Increasing the carbon deposition rate using sputter yield amplification upon serial magnetron co-sputtering

Schmidt, Rüdiger Matti (Corresponding author); Ries, Patrick; Pflug, Andreas; Wuttig, Matthias; Kubart, Tomas

Amsterdam : Elsevier, [u.a.] (2014)
Fachzeitschriftenartikel

In: Surface & coatings technology
Band: 252
Seite(n)/Artikel-Nr.: 74-78

Einrichtungen

• Fachgruppe Physik [130000]
• JARA-FIT [080009]
• Lehrstuhl für Experimentalphysik I A und I. Physikalisches Institut [131110]