Increasing the carbon deposition rate using sputter yield amplification upon serial magnetron co-sputtering

Amsterdam / Elsevier, [u.a.] (2014) [Fachzeitschriftenartikel]

Surface & coatings technology
Band: 252
Seite(n): 74-78

Autorinnen und Autoren

Schmidt, Rüdiger Matti
Ries, Patrick
Pflug, Andreas
Wuttig, Matthias
Kubart, Tomas