Increasing the carbon deposition rate using sputter yield amplification upon serial magnetron co-sputtering
Amsterdam / Elsevier, [u.a.] (2014) [Fachzeitschriftenartikel]
Surface & coatings technology
Band: 252
Seite(n): 74-78
Autorinnen und Autoren
Autorinnen und Autoren
Schmidt, Rüdiger Matti
Ries, Patrick
Pflug, Andreas
Wuttig, Matthias
Kubart, Tomas
Identifikationsnummern
- DOI: 10.1016/j.surfcoat.2014.04.067
- REPORT NUMBER: RWTH-CONV-088511