Plasma etched and sputtered GaAs(100) surfaces investigated by ellipsometry and Raman spectroscopy

Rossow, U.; Fieseler, T.; Geurts, J.; Zahn, D. R. T.; Richter, W.; Puttock, M. S.; Hilton, K. P.

Bristol : IOP Publ. (1989)
Fachzeitschriftenartikel

In: Journal of physics / Condensed matter
Band: 1
Seite(n)/Artikel-Nr.: SB 231

Einrichtungen

• Lehr- und Forschungsgebiet Physik [131820]
• Lehrstuhl für Experimentalphysik I A und I. Physikalisches Institut [131110]
• Fachgruppe Physik [130000]