Diffraction-assisted extreme ultraviolet proximity lithography for fabrication of nanophotonic arrays

Danylyuk, Serhiy (Corresponding author); Kim, Hyun-su; Brose, Sascha; Dittberner, Carsten; Loosen, Peter; Taubner, Thomas; Bergmann, Klaus; Juschkin, Larissa

New York, NY : American Institute of Physics [u.a.] (2013)
Fachzeitschriftenartikel

In: Journal of vacuum science & technology : JVST / B
Band: 31
Heft: 2
Seite(n)/Artikel-Nr.: 021602

Einrichtungen

• Fraunhofer-Institut für Lasertechnik - ILT [053100]
• JARA-FIT [080009]
• Juniorprofessur für Experimentalphysik [139430]
• Lehrstuhl für Experimentalphysik I A und I. Physikalisches Institut [131110]
• Lehrstuhl für Technologie optischer Systeme [418910]
• Fachgruppe Physik [130000]
• Lehr- und Forschungsgebiet Metamaterialien und Nano-Optik [136720]
• Lehr- und Forschungsgebiet für Experimentalphysik [139420]