Structure control of sputtered zinc oxide films by utilizing zinc oxide seed layers tailored by ion beam assisted sputtering

Bristol / IOP Publ. [u.a.] (2012) [Fachzeitschriftenartikel]

Journal of physics / D, Applied physics
Band: 45
Ausgabe: 24
Seite(n): 245302

Autorinnen und Autoren

Autorinnen und Autoren

Köhl, Dominik
Natarajan, Gomathi
Wuttig, Matthias

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