Structure control of sputtered zinc oxide films by utilizing zinc oxide seed layers tailored by ion beam assisted sputtering

Köhl, Dominik; Natarajan, Gomathi; Wuttig, Matthias

Bristol : IOP Publ. [u.a.] (2012)
Fachzeitschriftenartikel

In: Journal of physics / D, Applied physics
Band: 45
Heft: 24
Seite(n)/Artikel-Nr.: 245302

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