Thermal stability of sputtered zirconium oxide films

Venkataraj, S.; Kappertz, O.; Liesch, C.; Detemple, Ralf; Jayavel, R.; Wuttig, Matthias

Kidlington : Elsevier Science (2004)
Fachzeitschriftenartikel

In: Vacuum
Band: 75
Heft: 1
Seite(n)/Artikel-Nr.: 7-16

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