Structure formation upon reactive direct current magnetron sputtering of transition metal oxide films
Ngaruiya, J. M.; Kappertz, O.; Mohamed, S. H.; Wuttig, Matthias
Melville, NY : AIP (2004)
Fachzeitschriftenartikel
In: Applied physics letters
Band: 85
Heft: 5
Seite(n)/Artikel-Nr.: 748-750
Einrichtungen
- Lehrstuhl für Experimentalphysik I A und I. Physikalisches Institut [131110]
- Fachgruppe Physik [130000]
Identifikationsnummern
- DOI: 10.1063/1.1777412
- RWTH PUBLICATIONS: RWTH-CONV-071021