Structure formation upon reactive direct current magnetron sputtering of transition metal oxide films

Ngaruiya, J. M.; Kappertz, O.; Mohamed, S. H.; Wuttig, Matthias

Melville, NY : AIP (2004)
Fachzeitschriftenartikel

In: Applied physics letters
Band: 85
Heft: 5
Seite(n)/Artikel-Nr.: 748-750

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Experimentalphysik I A und I. Physikalisches Institut [131110]
• Fachgruppe Physik [130000]