As-grown textured zinc oxide films by ion beam treatment and magnetron sputtering

Zhang, Wendi; Bunte, Eerke; Ruske, Florian; Köhl, Dominik; Besmehn, Astrid; Worbs, Janine; Siekmann, Hilde; Kirchhoff, Joachim; Gordijn, Aad; Hüpkes, Jürgen

Amsterdam [u.a.] : Elsevier (2012)
Beitrag zu einem Tagungsband, Fachzeitschriftenartikel

In: Thin solid films
Band: 520
Heft: 12
Seite(n)/Artikel-Nr.: 4208-4213

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