Depth profiles of metal ions implanted in dielectrics at low energies

Stepanov, Andrey L.; Zhikharev, V. A.; Khaibullin, I. B.

Moscow : MAIK 'Nauka/Interperiodica' (2001)
Fachzeitschriftenartikel

In: Physics of the solid state
Band: 43
Heft: 4
Seite(n)/Artikel-Nr.: 766-771

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