Growth and characterization of zirconium oxynitride films prepared by reactive direct current magnetron sputtering

Venkataraj, Selveraj; Kappertz, Oliver; Jayavel, R.; Wuttig, Matthias

Melville, NY : IOP Publ. (2002)
Fachzeitschriftenartikel

In: Journal of applied physics
Band: 92
Heft: 5
Seite(n)/Artikel-Nr.: 2461-2466

Einrichtungen

• Fachgruppe Physik [130000]
• Lehrstuhl für Experimentalphysik I A und I. Physikalisches Institut [131110]