Structural and optical properties of thin zirconium oxide films prepared by reactive direct current magnetron sputtering

Venkataraj, S.; Kappertz, Oliver; Weis, Hansjörg; Drese, Robert Jens; Jayavel, R.; Wuttig, Matthias

Melville, NY : IOP Publ. (2002)
Fachzeitschriftenartikel

In: Journal of applied physics
Band: 92
Heft: 7
Seite(n)/Artikel-Nr.: 3599-3607

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