Influence of Xe+-ion irradiation on the microstructure of diamond-like carbon films

Faizrakhmanov, I. A.; Bazarov, V. V.; Zhikharev, V. A.; Stepanov, Andrey L.; Khaibullin, I. B.

Kidlington : Elsevier Science (2001)
Fachzeitschriftenartikel

In: Vacuum
Band: 62
Heft: 1
Seite(n)/Artikel-Nr.: 15-19

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