Thermal stability of amorphous molybdenum trioxide films prepared at different oxygen partial pressures by reactive DC magnetron sputtering

Mohamed, Sodky Hamed; Venkataraj, Selveraj

Kidlington : Elsevier Science (2007)
Fachzeitschriftenartikel

In: Vacuum
Band: 81
Heft: 5
Seite(n)/Artikel-Nr.: 636-643

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Experimentalphysik I A und I. Physikalisches Institut [131110]
• Fachgruppe Physik [130000]