Growth of TiOX Films by High Power Pulsed Magnetron Sputtering from a Compound TiO1.8 Target

Sarakinos, K.; Alami, Jones; Klever, Christian; Wuttig, Matthias

St. Petersburg : Advanced Study Center (2007)
Beitrag zu einem Tagungsband, Fachzeitschriftenartikel

In: Reviews on advanced materials science : RAMS
Band: 15
Heft: 1
Seite(n)/Artikel-Nr.: 44-48

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Experimentalphysik I A und I. Physikalisches Institut [131110]
• Fachgruppe Physik [130000]