Structural and optical properties of direct current sputtered zinc aluminum oxides with a high Al concentration

Mohamed, Sodky Hamed; Drese, Robert Jens

Amsterdam [u.a.] : Elsevier (2006)
Fachzeitschriftenartikel

In: Thin solid films
Band: 513
Heft: 1/2
Seite(n)/Artikel-Nr.: 64-71

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Experimentalphysik I A und I. Physikalisches Institut [131110]
• Fachgruppe Physik [130000]