Composition and formation mechanism of zirconium oxynitride films produced by reactive direct current magnetron sputtering
Ngaruiya, J. M.; Kappertz, O.; Liesch, C.; Müller, P.; Dronskowski, Richard; Wuttig, Matthias
Berlin : Wiley-VCH (2004)
Fachzeitschriftenartikel
In: Physica status solidi / A, Applications and materials science
Band: 201
Heft: 5
Seite(n)/Artikel-Nr.: 967-976
Einrichtungen
- Lehrstuhl für Experimentalphysik I A und I. Physikalisches Institut [131110]
- Lehrstuhl für Festkörper- und Quantenchemie und Institut für Anorganische Chemie [151110]
- Fachgruppe Chemie [150000]
- Fachgruppe Physik [130000]
Identifikationsnummern
- DOI: 10.1002/pssa.200306774
- RWTH PUBLICATIONS: RWTH-CONV-063614