A semi-quantitative model for the deposition rate in non-reactive high power pulsed magnetron sputtering

Sarakinos, K.; Alami, Jones; Dukwen, Julia; Wördenweber, Jan; Wuttig, Matthias

Bristol : IOP Publ. (2008)
Fachzeitschriftenartikel

In: Journal of physics / D, Applied physics
Band: 41
Heft: 21
Seite(n)/Artikel-Nr.: 215301

Einrichtungen

• Fachgruppe Physik [130000]
• Lehrstuhl für Experimentalphysik I A und I. Physikalisches Institut [131110]