The role of energetic ion bombardment during growth of TiO2 thin films by reactive sputtering

Amin, Azza; Köhl, Dominik; Wuttig, Matthias

Bristol : IOP Publ. (2010)
Fachzeitschriftenartikel

In: Journal of physics / D, Applied physics
Band: 43
Heft: 40
Seite(n)/Artikel-Nr.: 405303

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Experimentalphysik I A und I. Physikalisches Institut [131110]
• Fachgruppe Physik [130000]