Low temperature sputter deposition of SnOx:Sb films for transparent conducting oxide applications

Boltz, Janika; Köhl, Dominik; Wuttig, Matthias

Lausanne : Elsevier Sequoia (2010)
Fachzeitschriftenartikel

In: Surface & coatings technology
Band: 205
Heft: 7
Seite(n)/Artikel-Nr.: 2455-2460

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Experimentalphysik I A und I. Physikalisches Institut [131110]
• Fachgruppe Physik [130000]