Structural improvement of zinc oxide films produced by ion beam assisted reactive sputtering

Köhl, Dominik; Luysberg, Martina; Wuttig, Matthias

Bristol : IOP Publ. (2010)
Fachzeitschriftenartikel

In: Journal of physics / D, Applied physics
Band: 43
Heft: 20
Seite(n)/Artikel-Nr.: 205301

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