Structural improvement of zinc oxide films produced by ion beam assisted reactive sputtering

Köhl, Dominik; Luysberg, Martina; Wuttig, Matthias

Bristol : IOP Publ. (2010)
Fachzeitschriftenartikel

In: Journal of physics / D, Applied physics
Band: 43
Heft: 20
Seite(n)/Artikel-Nr.: 205301

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Experimentalphysik I A und I. Physikalisches Institut [131110]
• Fachgruppe Physik [130000]