Characterisation of porous silicon layers by spectroscopic ellipsometry

Rossow, U.; Münder, H.; Thönissen, M.; Theiss, W.

Amsterdam : North-Holland Publ. (1993)
Fachzeitschriftenartikel

In: Journal of luminescence
Band: 57
Seite(n)/Artikel-Nr.: 205

Einrichtungen

  • Lehr- und Forschungsgebiet Experimentalphysik [131720]
  • Lehr- und Forschungsgebiet Physik [131820]
  • Lehrstuhl für Experimentalphysik I A und I. Physikalisches Institut [131110]
  • Fachgruppe Physik [130000]

Identifikationsnummern