Physical properties of thin GeO2 films produced by reactive DC magnetron sputtering

Lange, Thomas; Njoroge, Walter Kamande; Weis, Hansjörg; Beckers, Manfred; Wuttig, Matthias

Amsterdam : Elsevier [u.a.] (2000)
Fachzeitschriftenartikel

In: Thin solid films
Band: 365
Heft: 1
Seite(n)/Artikel-Nr.: 82-89