Modelling of sputtering yield amplification effect in reactive deposition of oxides

Kubart, Tomas; Nyberg, T.; Pflug, Andreas; Siemers, M.; Austgen, Michael; Köhl, Dominik; Wuttig, Matthias; Berg, S.

Lausanne : Elsevier Sequoia (2010)
Fachzeitschriftenartikel

In: Surface & coatings technology
Band: 204
Heft: 23
Seite(n)/Artikel-Nr.: 3882-3886

Einrichtungen

• Fachgruppe Physik [130000]
• Lehrstuhl für Experimentalphysik I A und I. Physikalisches Institut [131110]