The effect of the backscattered energetic atoms on the stress generation and the surface morphology of reactively sputtered vanadium nitride films

Sarakinos, Konstantinos; Alami, Jones; Severin, Daniel; Karimi, Patrick Mwangi; Wuttig, Matthias

Amsterdam [u.a.] : Elsevier (2008)
Beitrag zu einem Tagungsband, Fachzeitschriftenartikel

In: Thin solid films
Band: 516
Heft: 14
Seite(n)/Artikel-Nr.: 4568-4573

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Experimentalphysik I A und I. Physikalisches Institut [131110]
• Fachgruppe Physik [130000]