The effect of target aging on the structure formation of zinc oxide during reactive sputtering

Severin, Daniel; Kappertz, Oliver; Nyberg, T.; Berg, S.; Wuttig, Matthias

Amsterdam [u.a.] : Elsevier (2007)
Fachzeitschriftenartikel

In: Thin solid films
Band: 515
Heft: 7/8
Seite(n)/Artikel-Nr.: 3554-3558

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Experimentalphysik I A und I. Physikalisches Institut [131110]
• Fachgruppe Physik [130000]