The effect of target aging on the structure formation of zinc oxide during reactive sputtering

Severin, Daniel; Kappertz, Oliver; Nyberg, T.; Berg, S.; Wuttig, Matthias

Amsterdam [u.a.] : Elsevier (2007)
Fachzeitschriftenartikel

In: Thin solid films
Band: 515
Heft: 7/8
Seite(n)/Artikel-Nr.: 3554-3558

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