Process characteristics and film properties upon growth of TiOx films by high power pulsed magnetron sputtering

Sarakinos, Kostas; Alami, Jones; Wuttig, Matthias

Bristol : IOP Publ. (2007)
Fachzeitschriftenartikel

In: Journal of physics / D, Applied physics
Band: 40
Heft: 7
Seite(n)/Artikel-Nr.: 2108-2114

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Experimentalphysik I A und I. Physikalisches Institut [131110]
• Fachgruppe Physik [130000]