Reactive direct current magnetron sputtering of tungsten oxide : a correlation between film properties and deposition pressure

Salinga, Christian Lothar; Kappertz, Oliver; Wuttig, Matthias

Amsterdam [u.a.] : Elsevier (2006)
Fachzeitschriftenartikel

In: Thin solid films
Band: 515
Heft: 4
Seite(n)/Artikel-Nr.: 2760-2764

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