The role of backscattered energetic atoms in film growth in reactive magnetron sputtering of chromium nitride

Sarakinos, Kostas; Alami, Jones; Karimi, Patrick Mwangi; Severin, Daniel; Wuttig, Matthias

Bristol : IOP Publ. (2007)
Fachzeitschriftenartikel

In: Journal of physics / D, Applied physics
Band: 40
Heft: 3
Seite(n)/Artikel-Nr.: 778-785

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