In situ stress measurements inzirconium and zirconium oxide films prepared by direct-current sputtering

Drese, Robert Jens; Wuttig, Matthias

Melville, NY : AIP (2006)
Fachzeitschriftenartikel

In: Journal of applied physics
Band: 99
Heft: 12
Seite(n)/Artikel-Nr.: 123517