On the deposition rate in a high power pulsed magnetron sputtering discharge

Alami, Jones; Sarakinos, Kostas; Mark, G.; Wuttig, Matthias

Melville, N.Y : American Institute of Physics (2006)
Fachzeitschriftenartikel

In: Applied physics letters
Band: 89
Heft: 15
Seite(n)/Artikel-Nr.: 154104

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Experimentalphysik I A und I. Physikalisches Institut [131110]
• Fachgruppe Physik [130000]