On the deposition rate in a high power pulsed magnetron sputtering discharge

Alami, Jones; Sarakinos, Kostas; Mark, G.; Wuttig, Matthias

Melville, N.Y : American Institute of Physics (2006)
Fachzeitschriftenartikel

In: Applied physics letters
Band: 89
Heft: 15
Seite(n)/Artikel-Nr.: 154104

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