Towards understanding the superior properties of transition metal oxynitrides prepared by reactive DC magnetron sputtering

Venkataraj, Selveraj; Severin, Daniel; Mohamed, Sodky Hamed; Ngaruiya, James Mbiyu; Kappertz, Oliver; Wuttig, Matthias

Amsterdam [u.a.] : Elsevier (2006)
Beitrag zu einem Tagungsband, Fachzeitschriftenartikel

In: Thin solid films
Band: 502
Heft: 1/2
Seite(n)/Artikel-Nr.: 228-234

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Experimentalphysik I A und I. Physikalisches Institut [131110]
• Fachgruppe Physik [130000]