Synthesis and mechanical properties of BCN coatings deposited by PECVD

Kurapov, D.; Neuschütz, Dieter; Cremer, R.; Pedersen, T.; Wuttig, Matthias; Dietrich, D.; Marx, G.; Schneider, Jochen M.

Kidlington : Elsevier Science (2003)
Fachzeitschriftenartikel

In: Vacuum
Band: 68
Heft: 4
Seite(n)/Artikel-Nr.: 335-339

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