Synthesis and mechanical properties of BCN coatings deposited by PECVD

Kurapov, D.; Neuschütz, Dieter; Cremer, R.; Pedersen, T.; Wuttig, Matthias; Dietrich, D.; Marx, G.; Schneider, Jochen M.

Kidlington : Elsevier Science (2003)
Fachzeitschriftenartikel

In: Vacuum
Band: 68
Heft: 4
Seite(n)/Artikel-Nr.: 335-339

Einrichtungen

  • Lehrstuhl für Experimentalphysik I A und I. Physikalisches Institut [131110]
  • Lehrstuhl für Werkstoffchemie [521110]
  • Fachgruppe für Materialwissenschaft und Werkstofftechnik [520000]
  • Fachgruppe Physik [130000]

Identifikationsnummern