Correlation between structure, stress and depositions parameters in DC-sputtered zinc oxide films

Kappertz, Oliver; Drese, Robert Jens; Wuttig, Matthias

New York, NY : American Institute of Physics (2002)
Fachzeitschriftenartikel

In: Journal of vacuum science & technology / A, Vacuum, surfaces, & films
Band: 20
Heft: 6
Seite(n)/Artikel-Nr.: 2084-2095

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Experimentalphysik I A und I. Physikalisches Institut [131110]
• Fachgruppe Physik [130000]