Structure formation upon reactive DC sputtering of transition metal oxides

Ngaruiya, J. M.; Kappertz, O.; Mohamed, S. H.; Wuttig, Matthias

Melville, N.Y : American Institute of Physics (2004)
Fachzeitschriftenartikel

In: Applied physics letters
Band: 85
Seite(n)/Artikel-Nr.: 748-748

Einrichtungen

• Fachgruppe Physik [130000]
• Lehrstuhl für Experimentalphysik I A und I. Physikalisches Institut [131110]