Structure formation upon reactive DC sputtering of transition metal oxides

Ngaruiya, J. M.; Kappertz, O.; Mohamed, S. H.; Wuttig, Matthias

Melville, N.Y : American Institute of Physics (2004)
Fachzeitschriftenartikel

In: Applied physics letters
Band: 85
Seite(n)/Artikel-Nr.: 748-748

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