Composition and formation mechanism of zirconium oxynitride films produced by reactive magnetron sputtering

Ngaruiya, J. M.; Kappertz, O.; Liesch, C.; Müller, P.; Dronskowski, R.; Wuttig, Matthias

Berlin : Wiley-VCH (2004)
Fachzeitschriftenartikel

In: Physica status solidi / A, Applications and materials science
Band: 201
Seite(n)/Artikel-Nr.: 967-967

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