Correlation between structure, stress and optical properties in direct current sputtered molybdenum oxide films

Mohamed, S. H.; Kappertz, Oliver; Ngaruiya, James Mbiyu; Pedersen, Tom Peder Leervad; Drese, Robert Jens; Wuttig, Matthias

Amsterdam [u.a.] : Elsevier (2003)
Fachzeitschriftenartikel

In: Thin solid films
Band: 429
Seite(n)/Artikel-Nr.: 135-135

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Experimentalphysik I A und I. Physikalisches Institut [131110]
• Fachgruppe Physik [130000]