Structural and optical properties of thin zirconium oxynitride films prepared by reactive direct current magnetron sputtering

Venkataraj, S.; Kappertz, Oliver; Weis, H.; Drese, Robert Jens; Jayavel, R.; Wuttig, Matthias

Melville, NY : IOP Publ. (2002)
Fachzeitschriftenartikel

In: Journal of applied physics
Band: 92
Seite(n)/Artikel-Nr.: 3599-3599

Einrichtungen

• Fachgruppe Physik [130000]
• Lehrstuhl für Experimentalphysik I A und I. Physikalisches Institut [131110]