Preparation and characterization of tantalum oxide films produced by reactive DC magnetron sputtering

Ngaruiya, James Mbiyu; Venkataraj, S.; Drese, Robert Jens; Kappertz, Oliver; Pedersen, Tom Peder Leervad; Wuttig, Matthias

Berlin : Wiley-VCH (2003)
Fachzeitschriftenartikel

In: Physica status solidi / A, Applications and materials science
Band: 198
Seite(n)/Artikel-Nr.: 99-99

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Experimentalphysik I A und I. Physikalisches Institut [131110]
• Fachgruppe Physik [130000]