Characterization of niobium oxide films prepared by reactive DC magnetron sputtering
Venkataraj, S.; Drese, Robert Jens; Kappertz, Oliver; Jayavel, R.; Wuttig, Matthias
Berlin : Wiley-VCH (2001)
Fachzeitschriftenartikel
In: Physica status solidi / A
Band: 188
Seite(n)/Artikel-Nr.: 1047-1058
Identifikationsnummern
- DOI: 10.1002/1521-396X(200112)188:3<1047::AID-PSSA1047>3.0.CO;2-J
- RWTH PUBLICATIONS: RWTH-CONV-025300