Defect formation upon reactive DC magnetron sputtering of GeO2 films

Njoroge, Walter Kamande; Lange, Thomas; Weis, Hansjörg; Kohnen, Birgit; Wuttig, Matthias

New York, NY : American Institute of Physics (2000)
Fachzeitschriftenartikel

In: Journal of vacuum science & technology / A, Vacuum, surfaces, & films
Band: 18
Seite(n)/Artikel-Nr.: 42-42

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Experimentalphysik I A und I. Physikalisches Institut [131110]
• Fachgruppe Physik [130000]