Increase of the deposition rate in reactive sputtering of metal oxides usinga ceramic nitride target

Severin, Daniel; Kappertz, Oliver; Nyberg, T.; Berg, S.; Pflug, Andreas; Wuttig, Matthias

Melville, NY : AIP (2009)
Fachzeitschriftenartikel

In: Journal of applied physics
Band: 105
Heft: 9
Seite(n)/Artikel-Nr.: 093302

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Experimentalphysik I A und I. Physikalisches Institut [131110]
• Fachgruppe Physik [130000]