Process stabilization and enhancement of deposition rate during reactive high power pulsed magnetron sputtering of zirconium oxide

Sarakinos, Kostas; Alami, Jones; Klever, Christian; Wuttig, Matthias

Lausanne : Elsevier Sequoia (2008)
Fachzeitschriftenartikel

In: Surface & coatings technology
Band: 202
Heft: 20
Seite(n)/Artikel-Nr.: 5033-5035

Einrichtungen

  • Lehrstuhl für Experimentalphysik I A und I. Physikalisches Institut [131110]
  • Fachgruppe Physik [130000]

Identifikationsnummern