Process stabilization and enhancement of deposition rate during reactive high power pulsed magnetron sputtering of zirconium oxide

Sarakinos, Kostas; Alami, Jones; Klever, Christian; Wuttig, Matthias

Lausanne : Elsevier Sequoia (2008)
Fachzeitschriftenartikel

In: Surface & coatings technology
Band: 202
Heft: 20
Seite(n)/Artikel-Nr.: 5033-5035

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