Tailoring of structure formation and phase composition in reactively sputtered zirconium oxide films using nitrogen as an additional reactive gas

Severin, Daniel; Sarakinos, Kostas; Kappertz, Oliver; Pflug, Andreas; Wuttig, Matthias

Melville, NY : AIP (2008)
Fachzeitschriftenartikel

In: Journal of applied physics
Band: 103
Heft: 8
Seite(n)/Artikel-Nr.: 083306

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