Effect of the target surface temperature on the distribution of nanoparticles formed by ion implantation

Stepanov, Andrey L.; Hole, D.; Popok, V. N.

Road Town, Tortola, British Virgin Islands : Pleiades Publ. (2001)
Fachzeitschriftenartikel

In: Technical physics letters
Band: 27
Heft: 7
Seite(n)/Artikel-Nr.: 554-556

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Experimentalphysik I A und I. Physikalisches Institut [131110]
• Fachgruppe Physik [130000]