Growth and characterization of zirconium oxynitride films prepared by reactive direct current magnetron sputtering

Melville, NY / IOP Publ. (2002) [Fachzeitschriftenartikel]

Journal of applied physics
Band: 92
Ausgabe: 5
Seite(n): 2461-2466

Autorinnen und Autoren

Autorinnen und Autoren

Venkataraj, Selveraj
Kappertz, Oliver
Jayavel, R.
Wuttig, Matthias

Identifikationsnummern