Effect of heat treatment on structural, optical and mechanical properties of sputtered TiOxNy films

Mohamed, S. H.; Kappertz, O.; Niemeier, T.; Drese, R.; Wakkad, M. M.; Wuttig, Matthias

Amsterdam [u.a.] : Elsevier (2004)
Fachzeitschriftenartikel

In: Thin solid films
Band: 468
Heft: 1/2
Seite(n)/Artikel-Nr.: 48-56

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Experimentalphysik I A und I. Physikalisches Institut [131110]
• Fachgruppe Physik [130000]