Reactive sputter deposition of zinc oxide : employing resputtering effects

Kappertz, Oliver; Drese, Robert Jens; Wuttig, Matthias; Ngaruiya, J. M.

Amsterdam [u.a.] : Elsevier (2005)
Fachzeitschriftenartikel

In: Thin solid films
Band: 484
Heft: 1/2
Seite(n)/Artikel-Nr.: 64-67

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Experimentalphysik I A und I. Physikalisches Institut [131110]
• Fachgruppe Physik [130000]