Structural, optical and mechanical properties of aluminium nitride films prepared by reactive DC magnetron sputterin

Venkataraj, Selveraj; Severin, Daniel; Drese, Robert Jens; Koerfer, Friedel; Wuttig, Matthias

Amsterdam [u.a.] : Elsevier (2006)
Beitrag zu einem Tagungsband, Fachzeitschriftenartikel

In: Thin solid films
Band: 502
Heft: 1/2
Seite(n)/Artikel-Nr.: 235-239

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Experimentalphysik I A und I. Physikalisches Institut [131110]
• Fachgruppe Physik [130000]