Process stabilization and increase of the deposition rate in reactive sputtering of metal oxides and oxynitrides
Severin, Daniel; Kappertz, Oliver; Kubart, Thomas; Nyberg, Tomas; Berg, S.; Pflug, Andreas; Siemers, M.; Wuttig, Matthias
Melville, N.Y : American Institute of Physics (2006)
Fachzeitschriftenartikel
In: Applied physics letters
Band: 88
Heft: 16
Seite(n)/Artikel-Nr.: 161504
Einrichtungen
- Lehrstuhl für Experimentalphysik I A und I. Physikalisches Institut [131110]
- Fachgruppe Physik [130000]
Identifikationsnummern
- DOI: 10.1063/1.2196048
- RWTH PUBLICATIONS: RWTH-CONV-031274