Multi-technique characterization of tantalum oxynitride films prepared by reactive direct current magnetron sputtering

Venkataraj, Selveraj; Kittur, Harish; Drese, Robert Jens; Wuttig, Matthias

Amsterdam [u.a.] : Elsevier (2006)
Fachzeitschriftenartikel

In: Thin solid films
Band: 514
Heft: 1/2
Seite(n)/Artikel-Nr.: 1-9

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Experimentalphysik I A und I. Physikalisches Institut [131110]
• Fachgruppe Physik [130000]